【Ｑ＆Ａ】イオンガンに窒素ガスを供給してもよいですか？

性能的に窒素を使用することは可能ですが…
排気された窒素が作業エリアに充満したり、作業者が吸引すると呼吸障害の恐れがありますので、人が過剰に吸いこむことがないよう設置や換気に配慮してください。